Waferprober

Allg. Informationen

  • hochpräzise elektrische Kontaktierung von Proben mit planaren Oberflächen
  • Möglichkeit temperaturabhängiger Untersuchungen

Technische Daten

  • 200 mm Main Chuck, 240 mm x 315 mm Positionierbereich
  • 2 Aux Chucks
  • Thermo Chuck 25 mm x 25 mm, 25 °C – 150 °C
  • 2 Mikropositionierer mit 13 mm Positionierbereich und sub-Mikrometer Positioniergenauigkeit

 

benötigte Verbrauchsmaterialien / ggf. messspezifisch anzuschaffen

  • Messspitzen (Probes)