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Fokussierte Ionenstrahltechniken (FIB)

Mit FIB erzeugter Krater, abgebildet mit REM.
Mit FIB erzeugte Lamelle, abgebildet mit REM.

Fokussierte Ionenstrahltechniken (FIB, Focussed Ion Beam) werden zum Abtragen, zum Abscheiden oder zur Abbildung von Proben genutzt. Diese Methode wird häufig in Verbindung mit einem Rasterelektronenmikroskop eingesetzt. In der Ionenquelle werden Galliumionen erzeugt und bei einer Beschleunigungsspannung von mehreren Kilovolt mit einem Strahldurchmesser von wenigen Nanometern auf die Probenoberfläche fokussiert. Die Ionen besitzen eine wesentlich höhere kinetische Energie als Elektronen und führen dadurch zu einem Materialabtrag auf der Probenoberfläche in Verbindung mit der Erzeugung von Sekundärionen, Sekundärelektronen und Röntgenstrahlung.
Fokussierte Ionenstrahltechniken werden häufig zur Präparation von Querschnitten oder Lamellen aus massiven Proben  genutzt. Zusammen mit Gasinjektionssystemen wird zudem die Abscheidung von Metallen auf der Oberfläche oder ein selektives Ätzen von Isolatoren oder Metallen ermöglicht. 

 

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