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Dielektrisch behinderte Entladung (DBE)

Entladung in Luft zwischen Probe und Elektrode.

Dielektrisch behinderte Entladungen (DBE) sind Niedertemperaturplasmen, die zur Oberflächenfunktionalisierung und -beschichtung oder zum Materialabtrag eingesetzt werden können. Aufgrund der niedrigen Gastemperatur und der Möglichkeit, diese Plasmen bei Atmosphärendruck zu zünden, finden sie in vielen Bereichen Anwendung. So können mit dielektrisch behinderten Entladungen Kunststoffoberflächen für bessere Haftung an Metallwerkstoffen funktionalisiert, Hautkrankheiten und Wunden behandelt, halbleitende- und isolierende Dünnschichten abgeschieden und Gase von Verunreinigungen befreit werden.

 

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