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Röntgenphotoelektronen-Spektroskopie (XPS)

Röntgenphotoelektronenspektroskopie (X-Ray Photoelectron Spectroscopy, XPS) beruht auf dem äußeren Photoeffekt: Durch Einstrahlung von Röntgenstrahlung (Photonen) werden Elektronen aus Atomen, Molekülen oder Festkörpern emittiert. Durch die hohe Energie der Photonen werden fest gebundene Rumpfelektronen herausgelöst. Die Elektronen werden mittels eines Halbkugelanalysators energieselektiv nach ihrer kinetischen Energie getrennt und schließlich detektiert. Diese Energie ist elementspezifisch und ermöglicht somit qualitative sowie quantitative Aussagen über die Zusammensetzung einer Substanz bzw. Oberfläche. Desweiteren besteht die Möglichkeit einer Schichtdickenbestimmung von in der Regel bis zu 10 nm.

 

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