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Rasterelektronen-Mikroskopie (REM)

Als Rasterelektronenmikroskop (REM) (auch Scanning Electron Microscope, SEM) bezeichnet man ein Elektronenmikroskop, bei dem ein Elektronenstrahl in einem bestimmten Muster über das vergrößert abzubildende Objekt geführt (gerastert) wird und Wechselwirkungen der Elektronen mit dem Objekt zur Erzeugung eines Bildes des Objekts genutzt werden. Die typisch mit einem Rasterelektronenmikroskop erzeugten Bilder sind Abbildungen der Objektoberflächen und weisen eine hohe Schärfentiefe auf. Je nach Wechselwirkungsart werden rückgestreute Elektronen (backscattered electrons, BSE), Sekundärelektronen (SE) oder Röntgenstrahlung erzeugt. In grober Näherung erzeugen die BSE einen Material- oder Elementkontrast, die SE einen Topographiekontrast. Die Röntgenstrahlung kann energiedispersiv analysiert werden.

 

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