Keyence VK-X210

Die gute laterale Auflösung (ca. 160 nm) ermöglicht detailgetreue Abbildungen vieler Proben. Softwareseitig lassen sich viele Bilder zu einem großen zusammensetzen, so dass auch bei starker Vergrößerung weite Bereiche der Probe abgebildet werden können.
Da die Topographie der Probe aufgezeichnet wird ist es möglich Rauheitsanalysen oder Profilschnitte durchzuführen.
Objekte mit geringer Opazität im Bereich Wellenlänge des zur Detektion verwendeten Lasers (408 nm) können durchstrahlt werden, so dass auch Grenzschichten oder Filme abgebildet werden können. Aufgrund verschiedener Reflektivitäten bezüglich der Laserwellenlänge lassen sich teilweise Materialkontraste erkennen.
Zusätzlich wird ein Weitfeldmikroskopiebild mit aufgenommen.


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