Dimension DI-3100

Das Veeco Dimension 3100 SPM ist ursprünglich ein für die Halbleiterindustrie entwickeltes Rasterkraftmikroskop. Daher sind auch verhältnismäßig große Proben messbar. Eine Probenuntersuchung wird unter atmosphärischen Bedingungen durchgeführt und ist somit im Vergleich zu unter Vakuum stattfindenden Messungen einfach und schnell. Zudem können sowohl nicht vakuumbeständige als auch nichtleitende Probenoberflächen im Nanometerbereich untersucht werden.
Ein druckluftgelagerter Tisch fängt die mechanischen Bodenschwingungen weitestgehend ab. Durch die Luft übertragene Schwingungen werden nicht gedämpft, für hochgenaue Messungen ist das Gerät daher nicht optimal geeignet. Des Weiteren ist für die genaue Festlegung der zu messenden Position ein optisches Mikroskop verbaut.


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