Omicron NanoSAM

Das NanoSAM der Firma Omicron ist eine Kombination eines Rasterelektronen-Mikroskops mit einer Auger-Mikrosonde (Scanning Auger Microscope, SAM), das den Auger-Effekt zur Elementanalyse verwendet. Das NanoSAM bietet unter guten Bedingungen eine laterale Auflösung bis unter 5 nm, lateral-chemisch unter 10 nm. Das Gerät ist darüber hinaus mit einer Ionenätzvorrichtung durch Ar+-Sputtern ausgerüstet, so dass auch chemische und topographische Tiefenprofile erstellt werden können. Als Proben sind leitende und in vielen Fällen auch nicht-leitende Proben möglich. Eine Bruchvorrichtung im Vakuumsystem erlaubt die Untersuchung reinster Brüche, weil die Bruchflächen nach dem Bruch umgehend in-situ in die Analysekammer des Systems geschleust und untersucht werden können.


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