FEI Helios Nanolab 600

Das Helios Nanolab 600 der Firma FEI verfügt über eine Feldemissionskathode (FE-SEM), einen fokussierten Galliumionenstrahl (Focused Ion Beam, FIB) und eine große Anzahl an Detektoren. Die Topographie bzw. die Materialzusammensetzung von Probenoberflächen kann mittels Sekundärelektronen bzw. Rückstreuelektronen abgebildet werden. Die Analyse der emittierten Röntgenstrahlung ermöglicht eine quantitative oder ortsaufgelöste Bestimmung der Elementzusammensetzung (siehe EDX).  An massiven Proben lassen sich Beugungsbilder in Rückstreuanordnung aufnehmen, die Informationen über die Kristallstruktur und chemische Phasen liefern (Electron Backscattered Diffraction, EBSD).
Dünne Proben (100 nm) ermöglichen Untersuchungen mittels transmittierter Elektronen (Scanning Transmission Electron Microscopy, STEM). Der Galliumionenstrahl kann zur Abbildung, zum Materialabtrag sowie zur Abscheidung von Platin eingesetzt werden. Dieses System ermöglicht Querschnittsuntersuchungen in massiven Proben, die Präparation von Proben für Transmissionselektronenmikroskopie sowie die Kontaktierung von Strukturen mittels Platin-Abscheidung.


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