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Transmissionselektronen-Mikroskopie (TEM)

Das Transmissionselektronenmikroskop (TEM) erlaubt die direkte Abbildung der Probe durch die Verwendung eines Elektronenstrahls.
Im Unterschied zu einem herkömmlichen Lichtmikroskop erzeugt eine Elektronenkanone einen Elektronenstrahl, welcher fokussiert und auf die Probe gerichtet wird.
Die Beschleunigungsspannung variiert von 100 kV bis 500 kV.
Das eingebaute Kondensatorlinsen-System ermöglicht es, sowohl große Bereiche mit geringer Auflösung, als auch kleine Bereiche mit hoher Auflösung zu betrachten.
Der Messbereich kann zwischen 100 nm bis in den atomaren Bereich variieren.
Nach dem Strahlengang durch die Probe folgt ein weiteres Linsensystem, bestehend aus 3 bis 8 Linsen, die die Abbildung der Probenoberfläche auf einem digitalen Leuchtschirm ermöglicht.
Eine CCD-Kamera speichert die Aufnahme.
Auf Grund der auftretenden elastischen und inelastischen Streuungsphänomene zwischen den eingestrahlten Elektronen und den Atomen der Probenoberfläche muss die Probe hinreichend dünn sein.
Die notwendige Dicke der Probe ist außerdem abhängig von der Probendichte und –zusammensetzung.
Allgemein gilt, dass die maximale Dicke der Probe, je nach verwendetem Gerät zwischen 5 bis 100 nm variiert.

Links zu den Geräten

 

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