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Rastertransmissionselektronen-Mikroskpie (STEM)

Schematische Darstellung von STEM.

Die Rastertransmissionselektronenmikroskopie, engl. Scanning Transmission Electron Microscopy (STEM) bezeichnet die Messung und Abbildung mittels durch die Probe transmittierter Elektronen. Die Detektion dieser Elektronen erfolgt in einem Rasterelektronenmikroskop (REM) mit einem Detektor unterhalb der Probe. Das Verfahren ermöglicht die Abbildung der inneren Struktur von Proben mit Dicken bis zu 100 nm.
Die geringe Materialstärke der Proben führt zudem zu einer höheren Ortsauflösung bei energiedispersiver Röntgenspektroskopie (EDX). Bei STEM-Untersuchungen in einem gewöhnlichen REM wird mit 15 kV bis 50 kV eine geringere Beschleunigungsspannung verwendet als bei konventioneller Transmissionselektronenmikroskopie (TEM).

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