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Energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)

Beispielspektrum (AYZ-Granulat)
EDX-Mapping (AYZ-Granulat)

Die energiedispersive Röntgenspektroskopie (Energy Dispersive X-Ray Analysis, EDX) ist ein spektroskopisches Verfahren zur Bestimmung der Elementzusammensetzung von Oberflächen. In einem Elektronenmikroskop werden durch die eingestrahlten Primärelektronen gebundene Elektronen aus inneren Energieniveaus der Probenatome freigesetzt. Die freien Zustände können durch Elektronen aus äußeren Energieniveaus besetzt werden. Die freiwerdende Energie kann in Form von elektromagnetischer Strahlung abgegeben werden, wobei diese Röntgenstrahlung für jedes Element sowie für die beteiligten Energieniveaus charakteristisch ist (charakteristische Röntgenstrahlung). Mittels EDX kann die Materialzusammensetzung eines Punktes oder einer Bereichs quantitativ bestimmt werden oder es können ortsaufgelöste Messungen durchgeführt werden (EDX-Mapping).

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