Präparationsmethoden beinhalten oft Materialabscheidung oder -abtrag:

Schichtabscheidungsverfahren

• Dielektrisch behinderte Entladung (DBD)
• Molekularstrahlepitaxie (MBE)
• Physical/ Chemical Vapor Deposition (PVD/ CVD)

Materialabtragsverfahren

• Fokussierte Ionenstrahltechniken (FIB)
• Edelgasionenbeschuss (Sputtern)

Daneben existieren noch weitere Präparationsmöglichkeiten, die nicht in dieses Raster fallen.
Hier zu nennen sind etwa Heizbehandlungen (Tempern), die in beliebigen einstellbaren Atmosphären ausgeführt werden können.