UHV-Spektroskopie II (410N)

Die Anlage kombiniert verschiedene Methoden der Elektronen­spektroskopie in einer Analyse­kammer mit der Möglichkeit, Behandlungen in beliebigen Gas­atmosphären bei bis zu 1000 mbar in einer angeschlossenen Präparations­kammer durch­zu­führen. Während der Präparation kann die Zusammen­setzung der Atmosphäre fortlaufend mittels eines Quadrupol-Massen­spektrometers ermittelt werden. Eine anschließende Über­führung in die Analyse­kammer ist i.d.R. innerhalb weniger Minuten möglich. Dort können Stöchiometrien, Valenzband­strukturen und Adsorbat­moleküle ermittelt, sowie mit einer Ionenätzvorrichtung durch Ar+-Sputtern chemische Tiefenprofile erstellt werden. Als Proben sind leitende und in vielen Fällen auch nicht-leitende Proben möglich.


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